La reazione ha sinterizzato le pagaie del carburo di silicio utilizzate al sistema di caricamento del wafer a semiconduttore
I residui a mensola sinterizzati la reazione del carburo di silicio sono una parte fondamentale del sistema di caricamento del wafer a semiconduttore. Pricipalmente sono utilizzati nella nuova industria energetica fotovoltaica. Durante l'applicazione delle lastre di silicio policristalline o dei wafer dei silici monocristallini nella fornace di smantellamento, il caricamento ed il trasporto delle lastre di silicio negli ambienti ad alta temperatura (il ° 1000-1300 C), specifiche di prodotto può essere personalizzato secondo i requisiti di cliente.
Pasta del carburo di silicio per nuova industria energetica fotovoltaica. Le specifiche principali sono 2378mm, 25550mm, 2660mm, ecc. È utilizzata nella fornace di diffusione per ricoprire le lastre di silicio policristalline o i wafer dei silici monocristallini (diffusione) nel corso del ricoprire e del trasporto delle lastre di silicio negli ambienti ad alta temperatura.
I residui a mensola hanno prestazione stabile, non deformano nell'ambito dell'ambiente ad alta temperatura ed hanno grande forza di caricamento del wafer, che è adatta a caricamento automatico robot ed a sistema di trasporto. Poiché la superficie a mensola dei residui è stabile e deforme, diventa possibile utilizzare i tubi di fornace attuali per preparare le più grandi specifiche dei tubi rotondi.
Il coefficiente di espansione termica di residui a mensola è simile a quello del rivestimento di LPCVD e si applica a LPCVD, che notevolmente prolunga il ciclo di pulizia e di manutenzione e notevolmente riduce gli agenti inquinanti.
| Data tecnica di SISIC |
| Oggetto |
Unità |
Dati |
| Temperatura massima dell'applicazione |
ºC |
1380 |
| Densità |
g/cm3 |
≥3.02 |
| Porosità aperta |
% |
<0>
|
| Resistenza alla flessione |
Mpa |
250 (20ºC) |
| |
Mpa |
280 (1200ºC) |
| Modulo di elasticità |
Gpa |
330 (20ºC) |
| |
Gpa |
300 (1200ºC) |
| Conducibilità termica |
W/m.k |
45 (1200ºC) |
| Coefficiente di espansione termica |
K-1×10-6 |
4,5 |
| Rigidità |
|
13 |
| A prova di alcalina acido |
|
Eccellente |
Foto della pagaia del carburo di silicio di Sisic
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